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Grants received
2022–2024 · grant · Kristallines Silizium Zellenentwicklung
Verbundvorhaben: CHEPHREN - Weiterentwicklung smarter Nasschemie Anlagen- und Prozesstechnologie für die Herstellung von Hocheffizienzsolarzellen, Teilvorhaben: Entwicklung von smarter Hardware, Software und Prozesstechnologie für nasschemische Batchanlagen
Singulus (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
2020–2023 · grant · Kristallines Silizium Zellenentwicklung
Verbundvorhaben: TOPCon_Cluster - Technologiecluster für die industrielle Fertigung von Solarzellen mit Tunneloxid-passivierenden Kontakten, Teilvorhaben: Industrietaugliche Beschichtungsverfahren mit Hilfe verschiedener Plasmatechnologien
Singulus (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
2019–2022 · grant · Kristallines Silizium Zellenentwicklung
Verbundvorhaben: NanoPERC - Industrielle Prozesse für nanokontaktierte poly-Si-Schichten einer PERC-Nachfolgetechnologie mit passivierenden Kontakten, Teilvorhaben: Sputtertechnologie und Nasschemie
Singulus (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
2018–2022 · grant · Kristallines Silizium Zellenentwicklung
Verbundvorhaben: UltraPERC - Neue Produktionstechnologien für höchsteffiziente PERC Solarzellen, Teilvorhaben: Entwicklung neuer Beschichtungsverfahren (PECVD und PVD) zur Herstellung höchsteffizienter Solarzellen
Singulus (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
2017–2021 · grant · Wissenschaftliche Zusammenarbeit mit anderen Staaten (soweit nicht in anderen Bereichen)
Verbundprojekt: Entwicklung eines CMOS kompatiblen Nanosensors für Internet-of -Things Anwendungen mit Demonstration als Sensorsystem für Umwelt-Monitoring und bio-medizinisches Monitoring, Teilvorhaben: Singulus
Singulus (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2017–2020 · grant · Kristallines Silizium Zellenentwicklung
Verbundvorhaben: ProSelect - Produktionstechnologie für Hocheffizienzsolarzellen basierend auf selektiven Kontakten, Teilvorhaben: Industrietaugliche nasschemische Prozesse und Beschichtungsverfahren
Singulus (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
2016–2018 · grant · Kristallines Silizium Basismaterial
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer, Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten
Singulus (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
2016–2019 · grant · Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Verbundprojekt: Neue Fertigungstechnologien für innovative Elektroniksysteme für das Internet der Dinge - PRIME -, Teilvorhaben: T3.2: Prozessentwicklung für die Integration von pSTT-MRAM für Integration in den 28nm Knoten
Singulus (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2016–2020 · grant · Kristallines Silizium Zellenentwicklung
Verbundvorhaben: Nasschemische Prozesse in hochfunktionalen Prozessanlagen (CHEOPS), Teilvorhaben: Entwicklung und Evaluierung einer hochfunktionalen Prozessanlage
Singulus (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie