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2026–2029 · grant · Neuartige mikroelektronische Bauelemente und sensorbasierte Elektroniksysteme
Verbundprojekt: Spintronische Chips auf Basis mikroelektronischer Fertigungsprozesse - SPIN CHIP -
3D-Micromac (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2025–2027 · grant · Trägheitsfusion - Laserfusion
Verbundprojekt: Skalierbare High Power Reflektoren für Petawatt (SHARP) - Teilvorhaben: Laserinnenbearbeitung von Glassubstraten
3D-Micromac (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2023–2026 · grant · Optische Technologien für Produktion
Verbundprojekt: Hochdynamische Inline-Regelung des Laserbohrens von Mikrovias (HILaM) - Teilvorhaben: Regelungsalgorithmik und Systemintegration
3D-Micromac (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2023–2026 · grant · High-Tech-Strategie
QVLS-iLabs: Skalierbare Verbindungstechnologie für kundenspezifische photonische integrierte Schaltungen (SciLine) - B
3D-Micromac (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2017 · commercial · H2020 - SME-1
Innovative Microalgae Feed Ingredient to improve Animal Health for a more sustainable Food Chain
3D-Micromac (Germany) · funded by European Commission
2017–2020 · grant · Systemtechnik Sonstiges
Verbundvorhaben: BIPVpod - Gebäudeintegrierte Photovoltaik-Module nach Bedarf - Teilprojekt: Lasertechnologien für gebäudeintegrierte Photovoltaik-Module nach Bedarf
3D-Micromac (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
2016–2020 · grant · Kristallines Silizium Zellenentwicklung
Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren, Teilvorhaben: Anlagenentwicklung für das selektive Laserdotieren
3D-Micromac (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
2016–2018 · grant · Kristallines Silizium Modultechnik
Verbundvorhaben Solar-TLS: Entwicklung neuartiger und fertigungstauglicher Solarzelltrennverfahren basierend auf 'thermal laser separation', Teilvorhaben: Erforschung und Entwicklung von Verfahren und Anlagentechnik für das Solar-TLS
3D-Micromac (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie