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Grants received
2026–2029 · grant · Quantentechnologien: applikationsübergreifende Technologiefeldentwicklung
Verbundprojekt: Kurzzeit-Plasmaoxidation für zuverlässige und reproduzierbare Josephson-Kontakte und Oberflächenpassivierungen in supraleitenden Bauelementen (PLASMOX) - Teilvorhaben: Plasmabasierte Passivierung und Oxidation von Qubit Strukturen
HQ-Dielectrics (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2025–2028 · grant · Neuartige mikroelektronische Bauelemente und sensorbasierte Elektroniksysteme
Verbundprojekt: Material- und Prozesstechnologien für eine umweltverträgliche Halbleiterproduktion - GENESIS -
HQ-Dielectrics (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2025–2028 · grant · Neuartige mikroelektronische Bauelemente und sensorbasierte Elektroniksysteme
Verbundprojekt: Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie - GreenPro -
HQ-Dielectrics (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2024–2026 · grant · Industriebranchenübergreifende Datenökosysteme
Verbundprojekt: Initiative zur Digitalisierung der Lieferketten in der Halbleiterindustrie (Semiconductor-X) - Teilvorhaben: Konzipierung eines digitalen Zwillings zur Erfassung des ökologischen Fußabdrucks anhand einer Plasmaoxidationsanlage
HQ-Dielectrics (Germany) · funded by Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
2022 · grant · Neue Materialien und Prozesstechnologien
Skalierbare Plasmaquellen für umweltfreundliche Tiefen-Ätzprozesse in der Chipfertigung
HQ-Dielectrics (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
2021–2027 · grant · Grundlagenforschung Energie
Verbundvorhaben H2Demo: Entwicklung und Bau einer neuen Hochdurchsatz Epitaxieanlage zur Entwicklung von Demonstratoren zur direkten solaren Wasserspaltung - Ergänzende Informationen zum Dachantrag für die HQ-Dielectrics GmbH
HQ-Dielectrics (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung