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2016–2017 · grant · Neuartige mikroelektronische Bauelemente und sensorbasierte Elektroniksysteme
Verbundprojekt: Elektroniksysteme für die intelligente Energieversorgung - EnSO -, Teilvorhaben: Massenproduktionsfähige PVD-Großflächenbeschichtung zur Herstellung von Dünnschicht-Festkörperakkumulatoren auf ultradünnen Substraten
Applied Materials (Germany) · funded by Bundesministerium für Bildung und Forschung
